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オンウェーハ高耐圧・高電流測定システム

高耐圧・高電流測定システムベクターセミコン 高耐圧・高電流測定システム

パワー半導体素子の高精度な高耐圧・高電流特性を計測するシステムです。低抵抗・高絶縁なプローブ、チャックを採用し、安全且つ高精度な測定が可能です。セミオートプローバはEasyEXPERTにより、ウェーハ面内の自動測定に対応しております。

最大ウェハ径:300mm

チャック温度:-55°C ~ 300°C

顕微鏡:各種取り付け可能

 

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ドキュメントおよびダウンロード

オンウェーハ高耐圧・高電流測定システム 
 

ソリューション概要 2012-04-06

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