オンウェーハ微小IV-CV測定システム

ベクターセミコン　オンウェーハ微小IV-CV測定システム

ウェーハレベルでのデバイス電気特性評価を行う場合、一般的に測定器とプローバー装置を接続して測定を行います。

しかし、微少領域の電流／容量測定を高精度に測定したい場合、高性能な測定器を接続しても、プローバー装置側の電気的ノイズ・シールド性能が十分でなければ、満足する測定システムを構築する事はできません。

本システムはB1500Aの測定性能を十分に発揮出来るように、徹底的にノイズ低減、シールド対策を施したプローバ装置です。

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