88000 ATS-610 アレイ・テスト・システム

大型a-Si LCD向けの薄膜トランジスタ(TFT)パネルのフル・アレイ・テスト

このページの内容: 業界の課題・まとめ・特長と利点・コンポーネント・主な仕様

業界の課題

ＦＰＤ（フラット・パネル・ディスプレイ）は、携帯電話やパーソナル・コンピューターの表示装置として広く使われています。最近では、大型テレビにも用途が拡大し、画質の改善や低コスト化が進められており、ＦＰＤ間の競争も益々激化して来ています。更に、FPＤの製造会社では生産性向上の為に、第７、第８世代の工場が立ち上がって来ています。

マザーガラスが大型化し、ＦＰＤパネルを低コストで高品質に生産する為には、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）アレイの試験が重要で、全てのパネルを限られた時間内で試験しなければなりません。液晶パネルではＴＦＴアレイ工程以後に多くのコストが掛かる為に、ＴＦＴアレイ試験で不具合のあるパネルを後工程に流さない様にすると共に、欠陥をリペアする事により良品率を高められ、結果として製造コストを低減出来ます。

更に、ＴＦＴアレイの試験結果をモニターする事で、前工程での異常をいち早く検知して正常に戻すと共に、試験データを解析する事により、前工程にフィードバックし、プロセスの品質を高める事が出来ます。

しかし、現在のアレイ・テスタでは、これらの課題を解決して行くには以下の性能が不足しています。

• 欠陥検出能力の不足：多くのアレイ・テスタではパネル　の内部動作を測定していな　い為に、検出感度を上げようとするとテスト時間が延びてしまいます。
• 不適切なテスト時間：パネルのテスト時間は製造スループットとコストに直接影響します。ガラス・サイズの大型化に対応する為に、多くのテスタが必要になってしまいます。
• 品質基準の欠如：パネル品質を定める基準が確立しておらず、ムラや動画性能も業界での標準が無く、試験技術も定まっていません。
• 未成熟なプロセス技術：リペア作業に対して、試験結果が有効に活用されるプロセスが完成されておらず、生産性向上を妨げています。

アジレントの課題解決提案

Agilent 88000 ATS-6１0 アレイ・テスト・システムは、a-Si(アモルファスシリコン)液晶のTN, VA, MVA, IPS, 各モード向けのパネルで、QUXGA-Wideの解像度まで試験出来ます。

アジレントが実績を積んで来たＦＰＤ試験技術を活用したＡＴＳ-6１0は、第７、第８世代製造ラインのアレイ・テストにおいて、高い検出感度と最速のタクトを御提供します。

• 高速タクトでの欠陥検出
  ATS-6１0にはテスト・ヘッドを最大４つまで装備出来、それぞれ５７６０のデータ・チャンネルを備え、２つのテスト・ヘッドを連結させる事で最大１１５２０のデータ・チャンネルのパネルにも対応可能です。複数の被試験パネルのゲートとデータを並列に動作させる事により、業界で最速のタクトを実現しています。又、テスト・システムを製造ラインと生産パネルに応じて構成する事により、最適なコストで試験環境を構築出来ます。
• 高い測定性能
  ATS-6１0の電気試験では、アレイの全てのピクセル上のトランジスタ、キャパシタンス、バス・ライン、等の構成要素を高感度で測定し、欠陥や不具合が後工程に流れて行かない様に出来ます。更に、TFT特性やライン、ピクセルのオープン、ショート、等の試験結果を自動的に解析します。
• 効率的なプロセス・フィードバック
  ATS-6１0でのアレイ・テストのデータ解析により、プロセス上の不具合を検出する事が可能です。これはプロセス品質を向上させて生産性を高め、コスト低減に大きく寄与する事が出来ます。

主な特長と利点

特長	利点
さまざまなパネル設計に応じた広範囲で正確な測定能力	トップクラスの不良検出力は、製造テストとエンジニアリング解析の両方に有効
複数のテスト・ヘッドによる同時並列試験	テスト時間の短縮により少ない投資で高い生産性を実現
不良,欠陥の自動分類	優れたプロセス品質の実現と適切な修理の決定支援
プローバも含めた高度に統合された試験環境	アジレントとプローブ・メーカによるトータル・サポートでフル稼働を提供
テスト開発と最適化のコンサルティング	効果的なテストの迅速な立上げ、及び、テスト目的に応じた解析

統合化されたテスト・ソリューション

ATS-6１0アレイ・テスト・システムは、テスタのハードウェア、ソフトウェア、サービス、及び　アプリケーション・コンサルティングを統合したテスト・ソリューションです。又、プローブ・ユニットのメーカーと協業し、試験環境を迅速に立ち上げ、効率的な試験で生産性向上を実現します。

Agilent 88000 シリーズ FPD テスト・システムは、急速に成長する市場で、高品質かつ低コストのFPD製造での競争力向上に貢献致します。

テスト・システムの主な構成要素 　　　

• テスタ・ラック（メイン・フレーム）
  　　　　コントロール・ユニット
  　　　　AC・ユニット
  　　　　パワー・ユニット
  　　　　コントローラ
• テスト・ヘッド
• マスタ・コントローラ
• システム・ソフトウェア
  

主な仕様

主な試験対象	a-Si LCD パネルのTFTアレイ
テスト・ヘッド数	最大　４
代表的な評価項目	バスラインおよびピクセル・エリアの、 オープン、ショート、Ion、Ioff、Vth、Cs、等
測定チャネル数	１１５２０ データ　（２テスト・ヘッド） ２５６０ ゲート
同時並列試験数	最大　８