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10766A リニア・インタフェロメータ

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Agilent 10766Aは、汎用の1軸測定のためのリニア・インタフェロメータで、リフレクタではなく、可動コンポーネントとして使用できます。堅牢で温度安定度の高いステンレス・スチールの筐体を使用しています。

10766Aは光学的には10702Aオプション001と同じですが、より堅牢な筐体とメートル・ネジが使用されています。

10766Aには、基準リフレクタとして1個の10767Aリニア・リフレクタが含まれています。リニア測定セットを構成するには、10703Aが必要です。この干渉計はビームを曲げるために使用できません。そのまま可動コンポーネントとしての使用が可能です。

差動測定には、10767Aリニア反射鏡を取り外し、必要な基準面に取り付けます。

概要: 干渉計、直線、1軸、6mmビーム
測定: リニア
軸数: 1
ビーム径: 6mm
使用目的: 汎用
アプリケーション: 1軸
安定度: 中位
光分解能: λ/2 (316.5nm)
システム分解能 (32x): λ/64 (10nm) (5527Bレーザ位置決めシステム、10885A PCアクシス・ボード/10895A VMEbusレーザ・アクシス・ボードとの併用時)
システム分解能 (256x): λ/512 (1.2nm) (10897B/10897C/10898A VMEbusレーザ・アクシス・ボードとの併用時)
ビーム分離: 11mm
質量: 312g
種別: 非プレーン・ミラー
推奨リフレクタ: 10767A
使用マウント: 10785A
ビーム屈曲: 不可
インタフェロメータの移動: 可
関連製品: 10702Aオプション001