B1500A 半導体デバイス・アナライザ

サマリ

Agilent B1500A半導体デバイス・アナライザは、10スロット構成のモジュラ測定器であり、IVおよびCV測定と、高速な高電圧パルス発生をサポートしています。使いやすいMicrosoft® Windows®ユーザ・インタフェースでAgilentのEasyEXPERTソフトウェアをサポートし、デバイス評価のための新しくわかりやすいタスク指向の環境を提供します。Agilent B1500Aは、超低電流／低電圧測定、統合されたキャパシタンス測定機能を備え、さまざまな半導体デバイスの評価ニーズに対応しています（IC-CAPはB1500Aをサポートします）。また、不揮発性メモリ・セルの評価や、高速デバイスの評価（高度なNBTI測定およびRTSノイズ(RTN)測定を含む）にも最適なソリューションです。

B1500Aでは現在、7種類のモジュールが使用可能です。このページの下部にあるモジュール選択表を参照してください。

アプリケーション・トピック

太陽電池特性評価に関する新しいアプリケーション・ノートとサンプル・プログラムが入手可能になりました。 「太陽電池評価のためのプレシジョンSMU製品」のページを参照してください。

モジュール情報

• B1525A（HV-SPGU：高電圧半導体パルス・ジェネレータ・ユニット）モジュールは、フラッシュ・メモリ・デバイス・テストのスループットを改善します。 B1525AデモWebページにオンライン・デモ・ビデオが用意されています。
• B1530A（WGFMU：波形発生器／高速測定ユニット）モジュールを使えば、これまでは不可能だった重要なパルス測定を実行できます。詳細については、 B1530A製品ページをご覧ください。
• B1500Aは、さまざまなパルス・ソリューションを提供します。新しい選択ガイドは、アプリケーションに最適なソリューションを見つけるための情報を提供します。詳細については、 AgilentパルスドIVパラメトリック・テスト・ソリューション・ページをご覧ください。

関連リンク

• EasyEXPERTおよびDesktop EasyEXPERTは、測定効率を改善し、使いやすいテスト環境を実現します。詳細については、 EasyEXPERTページをご覧ください。
• Agilent低リーケージ・スイッチ・マトリクス・ファミリは、測定性能を犠牲にせずに自動測定ソリューションを作成できる柔軟性を提供します。詳細については、 スイッチ・マトリクス・ファミリ・ページをご覧ください。
• AgilentモジュラSMUシリーズは、カスタマイズや要件の変化に応じた将来の拡張が可能です。さらに、Desktop EasyEXPERTの新しい4.0バージョンを使えば、これらの測定器を制御できます。詳細については、 モジュラSMUシリーズ・ページをご覧ください。

特長と利点

• 優れたIV測定性能:0.1 fA/0.5 μVの測定分解能
• 測定機能として、シングル／マルチチャネル掃引、タイム・サンプリング、リスト掃引、準静的CV(SMU使用)、HV-SPGU用のダイレクト制御と任意リニア波形発生(ALWG) GUIを装備
• オプションの統合キャパシタンス・モジュールは、最高5 MHzのCV測定をサポート
• オプションのポジショナ・ベースのCV-IVスイッチング・ソリューションは、0.5 μVの電圧測定分解能と、10 fA、1 fAまたは0.1 fAの電流測定分解能を実現
• クイック・テスト・モードでは、内蔵半自動ウェーハ・プローバ・ドライバとテスト・シーケンスを使って、プログラミングなしで容易にテストの自動化を実現
• オプションの高電圧半導体パルス・ジェネレータ･ユニット(HV-SPGU)は、10 nsのプログラマブル・パルス幅と±40 V (80 Vp-p)の出力を装備
• オプションの波形発生器／高速測定ユニット(WGFMU)は、ALWGおよび高速電流／電圧測定機能を装備
• 高kゲート誘電体およびSOI（シリコン・オン・インシュレータ）トランジスタの評価のための10 nsパルスドIVソリューションが使用可能
• 4155/4156インタフェースの外観、操作法、用語を採用しながら、Microsoft R Windows RのGUI機能によるユーザ操作を実現したクラシック・テスト・モードを搭載

モジュール選択ガイド

モジュール	必要スロット数	主な仕様
B1510A HPSMU	2	最大200 V、1 A印加。10 fAの電流分解能
B1511A MPSMU	1	最大100 V、100 mAの印加、10 fAの電流分解能
B1517A HRSMU	1	最大100 V、100 mAの印加、1 fAの電流分解能
E5288A ASU	－	最大100 V、100 mAの印加、100 aAの電流分解能
B1520A MFCMU	1	1 kHz～5 MHz、SMUによる最大100 VのDCバイアス
B1525A HV-SPGU	1	最小12.5 nsのパルス幅、10 nsの遷移時間、最大40 Vの3レベル・パルス
B1530A WGFMU	1	最小100 nsのパルス幅、10 Vp-pの出力、5 nsの電流／電圧測定のサンプリング速度

MicrosoftおよびWindowsはMicrosoft Corp.の登録商標です。

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