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4073A ウルトラ・アドバンスド・パラメトリック・テスタ

販売/サポート:	販売中

主な仕様

特長

HPSMUおよびHRSMUそれぞれ2個まで、合計8個までのSMUをサポート
低リーケージ・スイッチング・マトリクス、完全にガードされた12～48のケルビン出力にカスタマイズ可能
パルス・ジェネレータ制御機能つき高周波スイッチング・マトリクス
外部機器サポートのための補助入力8ヶおよび拡張経路入力48ヶ

測定能力

2 μVおよび1 fAの測定分解能（HRSMU）
± 200 Vおよび± 1 Aの出力能力（HPSMU）
1 kHz～1 MHzのキャパシタンス測定周波数レンジ（4284AまたはE4980A使用時）
± 1.6 Aのグランド・ユニット（GNDU）

データシート
2007-10-15 | PDF 153 KB

概要

高度なプロセスおよび特性評価のニーズに最適な選択肢です。Agilent 4073Aウルトラ・アドバンスド・パラメトリック・テスタとAgilent SPECSを併用すると、高精度DC測定、キャパシタンス測定、フラッシュ・メモリ・セルのテスト、その他の高周波アプリケーションのテストが行えます。最大で8個のソース・モニタ・ユニット（SMU）をサポートし、その内の2個を高分解能SMU（HRSMU）に、その内の2個をハイ・パワーSMU（HPSMU）にできます。各SMUは自己校正機能を持ち、電流または電圧の印加と測定を同時に実行するように設定できます。

パラメトリック・テスト用のトータル・ソリューション

効率的かつ総合的なパラメトリック・テスト・ソリューションには優れたハードウェアとともに優れたソフトウェアが必要です。この要件を満足させるために、4073Aでは様々なパラメトリック・テスト・ソフトウェア・ソリューションと互換性のある汎用システム・ソフトウェア環境を搭載し、AgilentのSPECS（半導体プロセス評価コア・ソフトウェア）テスト・シェル、SPECS-FA、VPA/PME、PDQ-WLRなどを使用できるようにしています。ソフトウェアの詳細は、下の関連製品 & サービスをクリックしてください。

特長