B1500A 半導体デバイス・アナライザ

一般的な特長

• Microsoft® Windows® OS／EasyEXPERTソフトウェアを搭載したPCベースの測定器
• 電流／電圧（IV）、キャパシタンス／電圧（CV）、パルス発生、高速IV、タイム・ドメイン測定のためのワンボックス・ソリューション
• ソース・モニタ・ユニット（SMU）およびその他のモジュール・タイプ（MFCMU、HV-SPGU、WGFMU）のための10個のモジュール・スロット
• Desktop EasyEXPERTソフトウェアによるオフライン・データ解析およびアプリケーション・テスト開発

測定機能

• 0.1 fAおよび0.5 μVまでの電流／電圧（IV）測定をサポート
• 準静的および中間周波数キャパシタンス／電圧（CV）測定をサポート
• パルスドIV、NBTI、RTS測定などのさまざまなアプリケーションのための正確な高速IVおよびタイム・ドメイン測定をサポート
• ハイ・パワー／メモリ・デバイス・テストのための高電圧パルス発生（最大±40 V）をサポート

まとめ

Agilent B1500A半導体デバイス・アナライザは、10スロット構成のモジュラ測定器であり、IVおよびCV測定と、高速な高電圧パルス発生をサポートしています。使いやすいMicrosoft® Windows®ユーザ・インタフェースでAgilentのEasyEXPERTソフトウェアをサポートし、デバイス評価のための新しくわかりやすいタスク指向の環境を提供します。Agilent B1500Aは、超低電流／低電圧測定、統合されたキャパシタンス測定機能を備え、さまざまな半導体デバイスの評価ニーズに対応しています（IC-CAPはB1500Aをサポートします）。また、不揮発性メモリ・セルの評価や、高速デバイスの評価（高度なNBTI測定およびRTSノイズ(RTN)測定を含む）にも最適なソリューションです。

アプリケーション・トピックス：Agilent パルスド IV パラメトリック・テスト・ソリューション

最新のモジュール：B1530A 波形発生器／高速測定ユニットモジュール

特長と利点

• 優れたIV測定性能:0.1 fA/0.5 μVの測定分解能
• 測定機能として、シングル／マルチチャネル掃引、タイム・サンプリング、リスト掃引、準静的CV(SMU使用)、HV-SPGU用のダイレクト制御と任意リニア波形発生(ALWG) GUIを装備
• オプションの統合キャパシタンス・モジュールは、最高5 MHzのCV測定をサポート
• オプションのポジショナ・ベースのCV-IVスイッチング・ソリューションは、0.5 μVの電圧測定分解能と、10 fA、1 fAまたは0.1 fAの電流測定分解能を実現
• クイック・テスト・モードでは、内蔵半自動ウェーハ・プローバ・ドライバとテスト・シーケンスを使って、プログラミングなしで容易にテストの自動化を実現
• オプションの高電圧半導体パルス・ジェネレータ･ユニット(HV-SPGU)は、10 nsのプログラマブル・パルス幅と±40 V (80 Vp-p)の出力を装備
• オプションの波形発生器／高速測定ユニット(WGFMU)は、ALWGおよび高速電流／電圧測定機能を装備
• 高kゲート誘電体およびSOI（シリコン・オン・インシュレータ）トランジスタの評価のための10 nsパルスドIVソリューションが使用可能
• 4155/4156インタフェースの外観、操作法、用語を採用しながら、Microsoft ® Windows ®のGUI機能によるユーザ操作を実現したクラシック・テスト・モードを搭載

モジュール選択ガイド

利用可能なモジュールの詳細については、データ・シートを参照してください。 

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